本产品主要用于硅晶圆、玻璃、陶瓷等产品切割后的解胶工序，可支持 6″至 12″Frame 的物料规格。
产品特点：
触摸屏控制、操作简单；
使用寿命长，20000~30000小时，几乎没有维护费用；
光源输出能量强、均匀度高、持续稳定；
多种控制方式，即时可控，功率可调；
时间和功率可阶梯设置，能满足各种自动化配套使用需求；
| 项目 | 桌面型（FUGN – 2006） | 落地型（FUHDN – 2008） |
|---|---|---|
| 用途 | 用于硅晶圆、玻璃、陶瓷等产品切割后的解胶工序 | 用于硅晶圆、玻璃、陶瓷等产品切割后的解胶工序 |
| 物料规格 | 可支持 6″- 12″Frame | 可支持 6″- 12″Frame |
| UV 单元 | 1 套 LED – UV 模组 | 1 套 LED – UV 模组 |
| UV 波长 | 365nm±5nm | 365nm±5nm |
| 照射强度 | 50 – 500mW/cm²，照射强度实时监测，可程序调节 | 50 – 500mW/cm²，照射强度实时监测，可程序调节 |
| 显示 / 设定 / 操作 | 触摸屏的显示 / 设定 / 操作 | 触摸屏的显示 / 设定 / 操作 |
| 照射模式 | 自动照射（设定照射功率、照射时长，按设定的时长完成照射，照射时长范围：0 – 9999.9 秒，间隔时间 0.1 秒）；手动照射（设定照射功率，手动控制照射时长或长亮照射）；阶梯照射（设定 8 个步骤，单步的功率和时间可自由设定，按设定的步数进行触发） | 自动照射（设定照射功率、照射时长，按设定的时长完成照射，照射时长范围：0 – 9999.9 秒，间隔时间 0.1 秒）；手动照射（设定照射功率，手动控制照射时长或长亮照射）；阶梯照射（设定 8 个步骤，单步的功率和时间可自由设定，按设定的步数进行触发） |
| 调光 / 照射控制 | 数字调光、手动照射控制或定时器控制（0 – 9999.9 秒，间隔时间 0.1 秒） | 数字调光、手动照射控制或定时器控制（0 – 9999.9 秒，间隔时间 0.1 秒） |
| LED 温度检测 | 装载热敏电阻，监控 LED 灯珠温度 | 装载热敏电阻，监控 LED 灯珠温度 |
| LED 光源异常反馈 | 检出 LED 光源的断路、短路、超温、亮光 | 检出 LED 光源的断路、短路、超温、亮光 |
| LED 光源冷却方式 | 风扇的强制空冷 | 智能冷却系统的水冷 |
| 上料 / 下料 | 手动 | 手动 |
| 气体 | 氮气 | 氮气 |
| 氧气监控 | 设备可监控仓内氧气浓度，界面可显示出氧气含量数据 | 设备可监控仓内氧气浓度，界面可显示出氧气含量数据 |
| 氮气保护 | 有氮气保护罩，用于氮气保护，流量可调节；氮气压力 0.2 – 0.4Mpa，气管外径 8mm（插入设备） | 有氮气保护罩，用于氮气保护，流量可调节；氮气压力 0.2 – 0.4Mpa，气管外径 8mm（插入设备） |
| 照射方式 | 面阵式 | 扫描式 |
| 扫描速度 | 无 | 0 – 100mm/s，程序可设定 |
| 输入电压 / 频率 | AC 220V 50Hz/60Hz | AC 220V 50Hz/60Hz |
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