氮气UV-LED固化箱

一、产品型号与用途：

本产品有桌面型（FUGN-2006）和落地型（FUHDN-2008）两种型号。主要用于硅晶圆、玻璃、陶瓷等产品切割后的解胶工序，可支持 6″至 12″Frame 的物料规格。

二、技术参数：

1. UV 单元：配备 1 套 LED-UV 模组，UV 波长为 365nm±5nm。照射强度在 50~500mW/cm²范围内，且可实时监测并通过程序调节。

2. 显示与操作：采用触摸屏进行显示、设定和操作。

3. 照射模式： – 自动照射：可设定照射功率和时长，照射时长范围为 0 – 9999.9 秒（间隔时间 0.1 秒），按设定时长完成照射。 – 手动照射：设定照射功率后，可手动控制照射时长或进行长亮照射。 – 阶梯照射：可设定 8 个步骤，单步的功率和时间可自由设定，按设定步数进行触发。

4. 调光与照射控制：可通过数字调光、手动照射控制或定时器控制（时间范围为 0 – 9999.9 秒，间隔时间 0.1 秒）。

5. LED 温度检测：装载热敏电阻，能够监控 LED 灯珠温度。

6. LED 光源异常反馈：可检出 LED 光源的断路、短路、超温、亮光等异常情况。

7. LED 光源冷却方式： – 桌面型为风扇的强制空冷。 – 落地型为智能冷却系统的水冷。

8. 上料/下料：均为手动操作。

9. 气体：采用氮气，设备可监控仓内氧气浓度，界面可显示氧气含量数据。同时，有氮气保护罩用于氮气保护，氮气压力为 0.2 – 0.4Mpa，气管外径 8mm（插入设备），流量可调节。

10. 照射方式： – 桌面型为面阵式。 – 落地型为扫描式，扫描速度为 0 – 100mm/s，可通过程序设定。

三、注意事项** 需注意，根据公司测量基准，上述数值为代表值，并非保证值。