非接触式镜面间隔及镜片厚度测量仪也叫镜面定位仪,是采用迈克尔逊干涉原理精确定位透镜表面,从而实 现透镜厚度和镜面空气间隔的精密测量。相比传统的机械接触式逐片测量方法,一次扫描可同时测量组装好镜头 内所有镜片厚度和空气间隔,非接触式无损伤,而且效率和精度更高。 随机测量软件可以自动读数并直接显示测 量结果, 亦可结合在自动镜组偏心仪或透反射偏心仪上实现一站式实现各种透明或半透明光学镜组内各镜片倾斜 和偏移,透镜厚度和空气间隔的精密测量和监测。
主要特征:
无损伤:光学非接触式精密测量
高效性:一次扫描,同时测量镜片厚度和空气间隔值 (精度可达 1um)
双波长:同时包含指示激光和近红外探测激光
方便性:含测量软件,操作简单,直接显示测量结果
一站式:可结合镜组偏心仪或透反射偏心仪实现镜片倾 斜和偏移,透镜厚度和空气间隔的精密测量和监测。
参数 | FAST300 | FAST600 | FAST800 |
测量范围 (光程) | 300mm | 600mm | 800mm |
激光波长 | 测量波长 1310nm;指示波长 632nm | ||
测量精度(显示分辨率) | 0.2µm | ||
测量精度(整体) | ±1µm | ||
测量速度 | 15 秒 / 100mm |